9月8日下午,上海大学微电子学院马逸明副教授应邀来访,在高研院238会议室为我室师生作了题为“面向原位实时物质检测的片上红外光谱传感系统”的学术报告。相关研究方向的多位教师和研究生参加了本次报告会。

报告中,马逸明副教授围绕红外光谱传感技术的集成化这一核心问题,系统介绍了团队近年来在波导传感器、片上光谱仪和光电探测器三个方向的研究进展。他指出,红外波段覆盖了绝大多数化学和生物分子的特征吸收峰,在环境监测、工业流程控制、医疗诊断等领域具有广阔应用前景,但传统红外光谱设备体积庞大,难以满足野外水质分析、食品安全快检、可穿戴健康检测等原位实时检测场景的需求。将传感器、光谱仪和探测器三大组件实现微型化和片上集成,是推动该技术走向实际应用的关键。
针对波导传感器,团队提出了亚波长梳状超材料波导设计,在保持紧凑尺寸的同时实现了良好的传感性能。在光电探测器方面,通过优化等离激元增强结构,获得了高响应度、低功耗的器件,并进一步实现了与传感器的单片集成,成功将片上传感光信号转化为可直接读出的电信号,完成了气体的片上感测验证。在片上光谱仪研究中,团队引入微机电系统(MEMS)调制机制和慢光增强机制,有效提升了光谱分辨率并降低了功耗。
报告结束后,马逸明副教授与在场师生就器件设计、集成工艺及系统应用等问题展开了深入交流与讨论。本次报告为相关研究方向师生提供了有益的前沿信息,拓宽了学术视野,增进了双方在中红外光谱传感技术领域的相互了解。

马逸明,上海大学微电子学院副教授,长期从事硅基光电子器件及其与MEMS、二维材料等的集成研究。已发表论文60余篇,总被引2800余次,h指数为26,以第一/通讯作者在Nature Communications、Advanced Functional Materials、ACS Nano等高水平期刊发表论文30余篇,入选上海市海外高层次人才计划,担任Photonix Synergy青年编委。
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