基于硫系玻璃微环谐振器的复折射率传感研究 - 硫系玻璃 | 宁波大学红外材料及器件实验室
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基于硫系玻璃微环谐振器的复折射率传感研究
作者: irglass 时间: 2025-06-23 浏览:53 次

       近日,我室研究生刘肖龙(第一作者)和张巍副教授(通讯作者)在期刊Optics and Laser Technology上发表题为“Complex refractive index sensor based on GeSbSe microring resonator”的论文(Optics & Laser Technology, 2025,190:112999),文章链接:https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.112999

       复折射率传感器在折射率实部传感的基础上,同时分析复折射率虚部变化对器件透射谱的谐振峰所造成的影响,从而实现对三元混合溶液的传感。本文提出了一种基于Ge28Sb12Se60材料的全通型微环复折射率传感器,其器件示意图和截面图,如图1(a)和(b)所示。该传感器采用电子束曝光和等离子体刻蚀工艺进行器件制备,利用垂直耦合测试平台测得透射谱,如图2(a)所示,从图中测得其自由光谱范围为5 nm,经过计算得到该器件的品质因数为3.44×104。为了得到较为准确的虚部灵敏度,本文使用不同浓度的水和重水二元混合溶液,用于复折射率传感实验。实验结果显示实部灵敏度为138 nm/RIU,虚部灵敏度为341 nm/RIU,检测极限为3.33×10−4RIU,如图2(b)和(c)所示。还进一步对水、重水和甲醇的混合溶液进行了实验,通过使用水、重水和甲醇三者浓度比分别为20%:60%:20%、30%:40%:30%、50%:20%:30%的三种混合溶液,得到了与水和重水二元混合溶液实验中相似的实部和虚部灵敏度,如图3所示。实验验证了该复折射率传感器在三元混合溶液传感方面的可行性,成功地实现了具有高复折射率灵敏度的硫系全通型微环传感器,为生化和环境监测领域的多组分无标记传感打下基础。

图1 (a) GeSbSe 微环的示意图。(b) 波导截面图。

图2 (a) GeSbSe微环的透射谱图。(b) 不同浓度重水溶液中GeSbSe微环的透射谱图。(c) 实部灵敏度的线性拟合(红线)和虚部灵敏度的线性拟合(蓝线)。

图3 三元混合溶液复折射率传感实验中的实部和虚部灵敏度的线性拟合。